咨询热线
18911790344
PRODUCTS/ 产品展示
首页  >  产品展示  >  光谱色谱仪  >  猎户座 3100S 空气分子污染物监测系统  >  空气分子污染物监测系统

空气分子污染物监测系统

简要描述:猎户座 3100S 空气分子污染物监测系统ETG HMI(人机交互界面)软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析,软件专门针对半导体行业开发,对于深紫外光刻工艺过程中监测与控制空气分子污染(AMC)提供有力的支持,软件集成了多点采样(MS)控制功能,具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。

产品目录
相关文章
详细介绍
品牌其他品牌应用领域环保,化工,农业,石油,能源

猎户座 3100S 空气分子污染物监测系统

 

痕量级AMC空气分子污染物 Ma Mb(NH3,HCL,HF等)监测---半导体行业应用

光刻工艺洁净室内痕量级NH3,HCL,HF气体的超高灵敏度、实时测量

 

实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响,对很多微量污染物极为敏感,比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来较大的危害,尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展,已经减少了长时间持续实时监测,而实际上空气分子污染(AMC)的实时测量对产品质量的好坏至关重要。

 

猎户座3100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术连续分析仪器,将增加半导体器件阻抗*性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间。

 

ETG HMI(人机交互界面)软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析,软件专门针对半导体行业开发,对于深紫外光刻工艺过程中监测与控制空气分子污染(AMC)提供有力的支持,软件集成了多点采样(MS)控制功能,具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。

 

猎户座 3100S 系统: 完善的空气分子污染(AMC)监测

 

实时监测空气分子污染(AMC)对于半导体生产过程极为重要。

快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。

深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基吡咯烷酮NMP酸类等浓度测量,当这些气体与化学放大光刻胶反生反应时,将深深的影响半导体器件质量。

传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法,这些方法分析速度太慢,操作过程太复杂,昂贵并且测量结果不准确

ETG采用被证明的CEAS(腔增强吸收光谱)技术解决AMC(空气分子污染物)监测难题,可快速测量痕量级NH3、HCL、HF,采用脉冲荧光法测量SO2,采用增强型GC-FID测量VOCs。

猎户座 3100S系列空气分子污染物监测系统测量痕量级NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性,是半导体行业洁净室AMC(空气分子污染)测量的有力工具。

猎户座 3100S也集成了多点监测系统,可依序将气体送到分析仪或传感器,并读出测量结果。猎户座 3100S内嵌的报警、报告、分析软件是由多年半导体行业经验的工程师集体开发。

猎户座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模拟模块可以输出来自4~6台分析仪或传感器的数据。

分析仪配有内置计算机(Linux OS),可进行数据存储和数据输出,还支持远程网络控制,通过互联网可以连接ETG公司总部或者当地经销商服务商,进行操作或者诊断

使用者可以通过网络浏览器比如IE、Chrome等世界任意可以联网的地方进行操作,远程操作可实现多级管理权限控制和操作。

猎户座 3100S 系统配置

增强灵敏度仪器基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术,极简使用、便捷操作,所有部件(包括内置真空泵、键盘、鼠标、显示器等)几分钟内可开始记录数据,其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷等不会对HCL、HF、NH3等测量构成交叉干扰。内置计算机可以存储大量数据到内置硬盘上,可同过数字接口或者模拟接口传输数据,可通过互联网远程存储或记录数据,高质量的数据库,适合于苛刻的半导体痕量级气体应用

检测限/精度 (1-σ)  :         

 HCl 0.1 ppb

       HF 0.1 ppb

       NH3 < 0.1 ppb

快速响应时间

每个通道5秒

 

系统即插即用

系统可在洁净间几分钟内简单操作完成

 低成本

CEAS(腔增强吸收光谱)系统不需要特别的维护保养和备品备件,所以很好的降低了使用者成本。

 CEAS(腔增强吸收光谱)---原理

 基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图,使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量,测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成,激光束经过固态校准器(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度,忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。

 EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器,具有超稳定性测量腔室,防止温度漂移、压力变化等造成的误差。

 CEAS(腔增强吸收光谱)相比于*代的CRDS(腔衰荡光谱)技术,有许多已被证明的优势。简而言之,激光束不需要共振耦合进入测量腔室(例如光束不需要严格对准)。ETG分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点。 

猎户座 3100S的特性

 

  • sub-ppb级实时测量
  • CEAS(腔增强吸收光谱)原理
  • 苛刻危险环境下可连续无人值守测量
  • 无试剂、无放射源、无纸带消耗、无吸收管或者其他耗材
  • 长期稳定性和可靠性
  • 固态电子器件无可移动部件
  • 低维护量、长免维护期
  • 出厂标定
  • 单组份/多组份痕量级气体测量
  • 4~64通道多点采样
  • 独立可编程报警、继电器设置
  • 可独立编程采样点顺序和吹扫通道
  • 开放的通讯协议,便于二次开发与集成
  • 电源断电或者断闸,数据无丢失
  • 触摸屏允许数据显示、表格显示、曲线显示等
  •  ¼ “外径接口
  • 管线:PFA, PVDF
  • 距离采样点较长管线:80m
  • 盘装彩色液晶显示器
  • 可远程操作或可视化操作。
  • 任意的运载工具
  • 输出信号:标配 : RS232 , 可选 : 4-20 mA, Modbus 
  • 供电 : 115-230 Vac 50/60 Hz
  • 校准报告
  • 通过采样器或者快速回路泵采样
产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 补充说明:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
推荐产品
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站