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空气分子污染物监测系统

简要描述:阿瑞斯-µVOC空气分子污染物监测系统无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案,不需要采样,离线测量。

产品目录
详细介绍
品牌其他品牌应用领域环保,农业,石油,能源

概述:

空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。


无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。


阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案,不需要采样,离线测量。


检测限达到sub-ppb级

洁净室环境中的空气分子污染物AMC,内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等,外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果,比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。


可测组份

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

(t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

异丙醇(CH3 ) 2CHOH

二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

环己胺C6H11NH2

邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

对二氯苯CIC6H4CL

三乙胺(C2H5 ) 3N

邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2

邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

二甲苯(CH3)2C6H4

三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

三甲基硅醇C3H10OSi

......

亮点

一般特点:

  • 在线连续质量监测全部自动化系统

  • 低浓度VOC监测

  • 独立分开测量有机物成份

  • Sub-ppb检测限

  • 集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

应用

  • 洁净间污染物监测

  • 过滤器状态监测

  • 加工过程全组份测量诊断污染物


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