实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来危害，尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展，已经减少了长时间持续实时监测，而实际上AMC空气分析仪对空气分子污染（AMC）的实...

傅里叶红外分析仪由红外灯源、光阑、干涉仪、样品室、检测器、各种红外反射镜、数据处理系统等组成。样品室的容积应尽可能大，应能安装各种小型红外配件，如各种衰减全反射（ATR）配件、漫反射配件、镜面反射配件等。傅里叶红外分析常见的功能之一是官能团...

光声光谱气体分析仪集成了高精度、高选择性、光谱可调可控的半导体激光光源和宽动态范围的悬臂梁增强光声光谱技术。零背景噪声技术提供高稳定性，无需重复校准数月。仪器工作在非谐振模式，可以使用不同的调制模式同时测量来自两个激光源的信号，得到的光声光...

溶解氧分析仪计算溶解氧含量的数据效果比较好；另一个外部因素是水中植物的光合作用。测得的溶解氧含量会略有变化。溶解氧的具体含量与温度、气压和盐分含量密切相关。一般温度越高，溶解盐越高，水中溶解氧含量越低；气压越高，水中的溶解氧越高，有利于水生...

由于用途广泛，CF4可以通过多种方式进入土壤、水体和大气中，形成环境污染。通过在大气中扩散和释放，进入平流层，破坏臭氧层。因此，世界上许多国家对此类污染物对臭氧层的影响开展了大量的研究工作，证实了臭氧层的丧失与这一系列气体在大气中释放的自由...

合成气监控主要有三个用途：安全监控，监控超标后会引起爆炸危险的介质，测量结果参与联锁控制，确保人员和设备的安全。过程控制，监控过程生产状态是否正常，以保证产品的质量。环保监测：监测排放到环境中的废气中能污染大气的成分是否超标，控制生产过程中...