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AMC监测系统

简要描述:AMC在线监测 猎户座 3100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术连续分析仪器,将增加半导体器件阻抗一致性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间。

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详细介绍
品牌其他品牌应用领域环保,化工,农业,石油,能源

一、AMC在线监测 猎户座 3100S产品介绍:

     1、实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响,对很多微量污染物极为敏感,比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来较大的危害,尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展,已经减少了长时间持续实时监测,而实际上空气分子污染(AMC)的实时测量对产品质量的好坏至关重要。

     2、猎户座3100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术连续分析仪器,将增加半导体器件阻抗一致性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间。

     3、ETG HMI(人机交互界面)软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析,软件专门针对半导体行业开发,对于深紫外光刻工艺过程中监测与控制空气分子污染(AMC)提供有力的支持,软件集成了多点采样(MS)控制功能,具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。

二、AMC在线监测 猎户座 3100S 系统介绍:

     1、实时监测空气分子污染(AMC)对于半导体生产过程极为重要。

     2、快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。

      3、深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸类等浓度测量,当这些气体与化学放大光刻胶反生反应时,将深深的影响半导体器件质量。

      4、传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法,这些方法分析速度太慢,操作过程太复杂,昂贵并且测量结果不准确

      5、ETG采用被证明的CEAS(腔增强吸收光谱)技术解决AMC(空气分子污染物)监测难题,可快速测量痕量级NH3、HCL、HF,采用脉冲荧光法测量SO2,采用增强型GC-FID测量VOCs。

      6、猎户座 3100S系列空气分子污染物监测系统测量痕量级NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性,是半导体行业洁净室AMC(空气分子污染)测量的有力工具。

      7、猎户座 3100S也集成了多点监测系统,可依序将气体抽送到分析仪或传感器,并读出测量结果。猎户座 3100S内嵌的报警、报告、分析软件是由多年半导体行业经验的工程师集体开发。

      8、猎户座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模拟模块可以输出来自4~6台分析仪或传感器的数据。

     9、每台分析仪配有内置计算机(Linux OS),可进行数据存储和数据输出,还支持远程网络控制,通过互联网可以连接ETG公司总部或者当地经销商服务商,进行操作或者诊断。

    10、使用者可以通过网络浏览器比如IE、Chrome等世界任意可以联网的地方进行操作,远程操作可实现多级管理权限控制和操作。

猎户座 3100S 系统配置图如下

 

 

三、产品特点:

    1、增强灵敏度

        仪器基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术,极简使用、便捷操作,所有部件(包括内置真空泵、键盘、鼠标、显示器等)几分钟内可开始记录数据,其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷等不会对HCL、HF、NH3等测量构成交叉干扰。内置计算机可以存储大量数据到内置硬盘上,可同过数字接口或者模拟接口传输数据,可通过互联网远程存储或记录数据,高质量的数据库,适合于苛刻的半导体痕量级气体应用。

    2、检测限/精度 (1-σ)  :HCl 0.1 ppb ; HF 0.1 pp ; NH3 < 0.1 ppb

         快速响应时间

         每个通道5秒 

        系统即插即用

        系统可在洁净间几分钟内简单操作完成

        低成本,因CEAS(腔增强吸收光谱)系统不需要特别的维护保养和备品备件,所以很好的降低了使用者成本。

四、CEAS(腔增强吸收光谱)---原理

       基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图,使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量,测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成,激光束经过固态校准器(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度,忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。

 

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