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​CF4泄漏分析仪都可以测量哪些参数?

发布时间:2021-02-09浏览:189次
  ​CF4泄漏分析仪基于超灵敏的悬臂梁增强光声光谱检测技术,结合量子级联激光(QCL)光源,致力于CF4的中红外基本光谱吸收峰。两者的结合提供了足够的灵敏度,可以毫不延迟地检测到小浓度的CF4飞溅或溢出,同时确保了超高的稳定性。重新校准周期持续数月甚至数年,从而大大降低了总体拥有成本。
  ​CF4泄漏分析仪超灵敏的专业光学麦克风,基于微电机悬臂梁传感器,结合激光干涉仪来测量悬臂梁的微观运动,光源配置:分布式反馈量子级联激光器,样品电池温度稳定在50℃。
 

CF4泄漏分析仪

  CF4泄漏分析和检测要求:洁净室需要控制污染物的水平。准确,可靠和低维护的洁净室空气分子污染物AMC控制可以显着提高生产率。高度灵敏的GASERAONECF4可以快速检测生产环境中的污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收检测可以确保长期的高稳定性。GASERAONECF4可以与其他检测仪器集成在一起,例如机柜中的颗粒物监测仪。
  ​CF4泄漏分析仪可以测量哪些参数?
  1、响应时间:取决于用户定义的通道积分时间CIT和气体冲洗设置。根据平均时间和采样设置,它从大约15秒到几分钟不等。
  2、监测下限:N2O2ppb,CH410ppb。
  3、动态范围:5个数量级(检测下限的100,000倍)。
  4、重复性:在操作条件下,校准浓度的重复性小于1%。
  5、准确度:在校准浓度下优于5%,这受校准气体的准确性限制。
  6、温度稳定性:工作温度范围内的环境温度变化不会引起漂移。
  7、压力稳定性:样品在压力范围内的压力变化不会引起漂移。
  
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