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来谈谈CF4泄漏检测的七个基本要素

发布时间:2021-01-11浏览:172次
  CF4泄漏检测基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱检测技术,结合量子级联激光(QCL)光源,可对CF4的中红外基本光谱吸收峰进行研究。两者的结合提供了足够的灵敏度,可以毫不延迟地检测到小浓度的CF4飞溅或溢出,同时确保了超高的稳定性。重新校准周期持续数月甚至数年,从而大大减低了总体持有成本。
  高灵敏度的CF4泄漏检测可以在生产环境中快速的探测污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收检测可以确保长期的高稳定性。准确,可靠且维护成本低的洁净室污染控制,快速的响应时间以捕获浓度的突然增加,独立的操作系统,内置的气体交换泵,无消耗品或化学试剂,光路短,单点校准也可达到一定动态范围,直接吸收测量,无漂移,高选择性,并且不受乙醛和其他VOC的干扰。
 

CF4泄漏检测

  1、响应时间:取决于用户定义的通道积分时间CIT和气体冲洗设置。根据平均时间和采样设置,它从10秒到几分钟不等。
  2、监测下限:小于0.1ppb。
  3、动态范围:大于5个数量级(检测下限的100,000倍)。
  4、重复性:在操作条件下,校准浓度的重复性小于1%。
  5、精度:校准浓度高于5%,这受校准气体精度的限制。
  6、温度稳定性:CF4泄漏检测不会由于工作温度范围内的环境温度变化而引起漂​​移。
  7、压力稳定性:样品在压力范围内的压力变化不会引起漂移。
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