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看了这个,你就知道AMC监测有多重要了

发布时间:2021-03-04浏览:181次
  随着集成电路工业和半导体工业技术的发展越来越快,不仅在生产过程中对设备的要求越来越准确和可靠,而且对工艺和制造环境的要求也越来越高严格。洁净室是对环境敏感的物质和产品的过程制造环境,主要用于提高产量和产量。但通常会忽略一些微小的化学挥发性气体,实际上它们对许多处理过程有害,尤其是在集成电路行业中。因此,为了提供“更清洁”的生产环境,近年来,机载分子污染物AMC已逐渐被人们所认识和重​​视。看完这篇文章后,你将明白AMC监测的重要性。
 

AMC监测

  洁净室环境中的空气分子污染物,AMC,内部来自建筑材料,设备和材料的释放,腐蚀和光刻等过程,化学物质逸出,人员生成,管道泄漏,设备维护和维修例如,外部存在于周围空气中的气相污染物和洁净室的废气排放被送回洁净室。AMC监测是高科技生产过程中的关键因素,尤其是在微电子行业。
  那么,什么是AMC?AMC是指空气传播的分子污染,也缩写为“分子污染”。它包括一系列出现在洁净室空气中的污染物,它们以气体,蒸气和空气中的粉尘的形式出现。化学特性可以是有机或无机的;包括酸,碱,聚合物添加剂,有机金属化合物,缩合剂和添加剂的特性。
  1、AMC描述了多种化学类型,这些化学类型通常会导致大量潜在的工艺问题。
  2、AMC对亚微米设备生产的几乎任何方面都有影响,基本上贯穿整个生产过程和设备的终性能。
  3、半导体制造工艺将300mm晶圆,铜互连和设备组件的尺寸更改为小于0.01微米,这正在加速将相应的制造环境转变为分子污染(AMC)。
  4、AMC监测已成为所有新型半导体制造设备设计要求中的重点之一。
  5、过多的MC空气分子污染物将导致一系列严重后果,例如废弃的威化饼,停产和净化洁净室。因此,AMC监视非常重要。
 
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